1.1 儀器特點(diǎn)
Ø 多參數(shù)測(cè)量：Ra、Rq、Rsm、Rsk、Rz、Rt、Rp、Rv、Rc；
Ø 高精度傳感器；
Ø GAUSS濾波器；
Ø 符合ISO4287；
Ø 128×64 點(diǎn)陣OLED，白字；
Ø 內(nèi)置鋰離子充電電池，容量高、無(wú)記憶效應(yīng)，連續(xù)工作時(shí)間大于20小時(shí)；
Ø 機(jī)電一體化設(shè)計(jì)，體積小，重量輕，使用方便；
Ø 具有自動(dòng)關(guān)機(jī)、記憶及各種信息；
Ø 可選配曲面?zhèn)鞲衅鳌⑿】讉鞲衅?、測(cè)量平臺(tái)、接長(zhǎng)桿等附件。
1.2 儀器參數(shù)：
1、 傳感器
Ø 檢測(cè)原理： 電感式
Ø 測(cè)量范圍： 200μm
Ø 針尖半徑： 5μm
Ø 針尖材料： 金剛石
Ø 觸針測(cè)力： 4mN(0.4gf)
Ø 觸針角度： 90°
Ø 導(dǎo)頭縱向半徑：45mm
2、 驅(qū)動(dòng)參數(shù)
Ø 最大驅(qū)動(dòng)行程： 15mm
Ø 驅(qū)動(dòng)速度： 測(cè)量時(shí) 當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 0.25mm Vt=0.135mm/s
當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 0.8mm Vt=0.5mm/s
當(dāng)取樣長(zhǎng)度= 2.5mm Vt=1mm/s
返回時(shí) V=1mm/s
Ø 示值誤差：不大于±10% ，示值變動(dòng)性：不大于6%
2 認(rèn)識(shí)儀器：
